| 显微镜装置，外观检查装置，半导体外观检查装置，和样品的显微镜装置中的照明方法 |
| JP2004252664 2004-8-31 发明申请 |
| 2006-3-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜装置能够实现与一简单的结构的一个照明装置，用于照射一样品，它是一个观察对象和一个用于移除一特定空间频率分量的空间滤波器所述样品上的一个图案，和其照明方法。溶液 : 一光源40所述的显微镜装置被设置在所述光瞳面8的物镜的透镜3或一个平面23与该瞳孔的共轭表面上，和一个支撑装置40用于支撑所述光源40所述表面\/平面上被使用作为所述空间滤波器。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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