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用于减少样品上的粒子束诱导的痕迹的多束粒子显微镜

DE102022104535 2022-2-25 发明申请

2023-8-31

本发明涉及一种用于减少施加有高电压的样品上的粒子束引起的痕迹的多束粒子显微镜。通过使用特殊的物镜电缆和/或特殊的样品台电缆来实现在样品室中出现额外的残余气体，所述特殊的物镜电缆和/或特殊的样品台电缆被特殊屏蔽。