| 共焦显微镜，外部外观检查装置和半导体外的外观检查装置 |
| JP2004252672 2004-8-31 发明申请 |
| 2006-3-16 |
| 要解决的问题 : 提供一种共焦显微镜能够补偿的所述的降低引起的光量在所述该样品的观察图像的周边区域，能够连续地和容易地改变所述的光量的一种光源和能够改变所述的照明光的波长。溶液 : 所述共焦显微镜是配备有一光源阵列30包括多个光的光源40和位于一个平面上的共轭到所述物镜的焦平面3，和一个针孔阵列22位于所述平面共轭到所述物镜的焦平面3和具有孔23在各自对应的位置到所述各该光源阵列30的光源40。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号