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产业专利数据

具有多个检测器的扫描电子显微镜和用于基于多个检测器的成像的方法

US10502104 2005-9-19 发明申请

2006-3-16

一种用于电子的多检测器检测的系统和方法，该方法包括以下步骤 : 引导初级电子束通过柱与被检查物体相互作用，通过引入基本静电场将从被检查物体反射或散射的电子引导到多个内部检测器，而至少一些被引导的电子相对于被检查物体以小角度反射或散射；以及从至少一个内部检测器接收检测信号。