| 扫描电子显微镜 |
| JP2004249435 2004-8-30 发明申请 |
| 2006-3-9 |
| 要解决的问题 : 以正确的聚焦点的位置漂移在一高的速度在一个扫描电子具有一种功能的显微镜观察，其特征在于一个样品上的对象。溶液 : 当一个场的视觉是由上移向一个观测目标在所述样品，其中所述为了解决上述的电子束被扫描的物镜在所述扫描电子显微镜，所述之间的误差实际所示的聚焦点位置和所述聚焦点位置在所述测量机构作为用于本发明的一个高度该样品的表面被校正，基于该信息有关的一个所述物体的观察点相邻的点进行一种的多个测量点的。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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