| 扫描电子显微镜的样品架 |
| KR1020040070278 2004-9-3 发明申请 |
| 2006-3-8 |
| 目的 : 一种半导体装置分析的样品架设备被提供以防止二次电子从被累积在该一种样品的表面通过所述表面区展宽的样品架，其中所述样品被放置在。结构 : 样品夹持器照射一次电子到所述样品的表面(200)和检测二次电极检测从所述表面所述的样品以分析所述特征的所述样品的表面，所述整个样品被放置在一主样品架(202a，202ab)同时运行在与所述主样品架第一侧的平行，使得所述主检测的样品架通过所述二次电极从所述样品的表面到所述接地。助理样品架(22)。被固定安装在所述的上和下部分第一侧的所述主样品架以减少所述量的所述二次电子累积在该表面的所述样品。kipo2006 |
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