| 用于激光加工的近场扫描光学显微镜针尖的校准方法和装置 |
| US10932617 2004-9-2 发明申请 |
| 2006-3-2 |
| 一种用于测量从用于激光加工的近场扫描光学显微镜(NSOM)探针的探针尖端辐射的峰值波长处的辐射的系统，包括 : 激光源； NSOM探针； 基本上透射峰值波长的耦合衬底； NSOM安装件，用于可控地保持探针和耦合衬底； NSOM探针监视器，其耦合到所述支架； NSOM控制器； 以及光耦合到衬底的光检测器。 光耦合到探针中。 支架包括Z运动台。 探针监视器确定探针尖端和耦合衬底之间的距离。 控制器耦合到探针监视器和运动台。 它控制探针尖端和耦合衬底之间的距离，使得辐射从探针尖端耦合到耦合衬底中。 光电检测器测量该辐射的功率。 |
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