用于数据存储和显微镜检查的扫描探针
 
US10502366  2005-5-31  发明申请

2006-3-2
 
  一种用于扫描表面的悬臂装置,包括支架,尖端平台和柔性臂装置。 尖端平台具有多个尖端。 它们包括提供与待扫描表面的接触点的至少两个接触尖端,以及用于扫描表面的扫描尖端,其中扫描尖端可以是设置在平台上的两个或多个接触尖端中的一个。 所述柔性臂装置将所述尖端平台连接到所述支撑件,并且通过所述臂装置的弯曲,所述柔性臂装置允许所述平台的定向,以使所述接触尖端与待扫描表面接触。 平台然后相对于扫描表面处于明确限定的定向,并且扫描尖端被适当地定位以用于扫描操作。 本发明还提供了包括这种悬臂装置的扫描探针显微镜和数据存储装置。
 
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