| 扫描探针显微镜悬臂架及使用该悬臂架的扫描探针显微镜 |
| US11199290 2005-8-8 发明申请 |
| 2006-3-2 |
| 本发明提供一种具有悬臂保持器的扫描探针显微镜,该悬臂保持器通过可配置在有限空间中的小型振动器赋予悬臂较大的振幅,并且即使在液体等高粘性阻力的环境中也能够稳定地操作。 悬臂的悬臂基部固定于扫描探针显微镜悬臂架的固定部。 振动器安装在固定部件上。 当沿着悬臂的纵向限定前侧是靠近探针的侧并且后侧是靠近固定部分的支撑部分的侧时,振动器使悬臂保持器的固定部分的前侧和后侧在与样品表面正交的平面内沿相反的方向彼此移动,以在液体中振动悬臂。 |