| 原子力显微镜的光点跟踪装置 |
| CN200420110606.2 2004-12-2 实用新型 |
| 2006-3-1 |
| 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装 置，其构成是：所述的激光杠杆：包括激光器，在激光器出射 的平行光束的前进方向上有反射镜，该反射镜配有调节装置， 在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬 臂针尖，该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光 线G的光轴上，且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点，在 微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两 维可调的四象限光电探测器；一xy向扫描器和固定在该xy向 扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件；元器件模块 化。本实用新型具有结构简单，各单元部件易于调整和更换， 激光聚焦光点跟踪可靠的优点。 |
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