| kantileverov制备的复合[方法]用于所述扫描探针显微镜 |
| RU2004126114 2004-8-30 发明申请 |
| 2006-2-27 |
| 领域 : 生物。^物质 : 本发明涉及一种隧道或原子力显微术和描述了复合悬臂的生产方法，用于扫描探针与控制台由氮化硅的显微镜和通过硅管脚的装置。提出的方法包括形成销的销座连接的服务的凹坑周围的基极硅管脚和硅氮化物控制台简化-服务检查销的锐度和加宽中由于悬臂和生产的物品的管脚的范围的任何高度和形状。^效果 : 尖的悬臂销和销的顶部处的小角度和等于管脚的形状。^14显示 |
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