| 探针扫描探针显微镜的扫描方法 |
| JP2004234499 2004-8-11 发明申请 |
| 2006-2-23 |
| 要解决的问题 : 以提供一个构成一个扫描探针显微镜探针扫描的方法，以限制所述高度中所述差的电平由于所述表面上所形成的不均匀的样品通过所述位置控制在所述高度方向的一探针，以缩短扫描时间和获取该数据的所述形状，尺寸，尺寸，所述孔的位置和该等或所述表面的所述样品中的该等。溶液 : 在所述证明该扫描探针显微镜的扫描方法用于扫描所述探针15沿该表面11a该样品11和获取的所述数据如所述的凹凸形状的所述的表面或所述的等该样品，所述探针的所述的最低位置被限制到一任意的下限位置不高于所述该最高位置的基础上的最高位置通过控制所述高度位置的所述探针在所述扫描所述探针的所述表面上的所述探头的范围。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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