| 扫描电子显微镜 |
| JP2004234324 2004-8-11 发明申请 |
| 2006-2-23 |
| 要解决的问题 : 以减小光束漂移偏转一个由一电位梯度产生的带电粒子的轨道通过所述表面上的电位不均匀的样品在一带电粒子束的一个面照射通过通电时产生一个绝缘样品产生的区域通过所述带电粒子光束被观察到。溶液 : 所述带电粒子光束的能量，以被所述样品上照射被设置，使得生成效率所述二次电子的产生从所述样品变为1或更高。作为该装置的结构，一平板电极，其可以被独立地施加一个电压上，具有一通过其一次带电粒子光束可以通孔，被设置，以面对所述样品，一电压可以所述样品架上被独立地施加其上的所述样品被安装，和一个面对所述样品被平坦化，从而不具有压痕。进一步，所述孔的直径D之间的距离L形成在所述扁平电极和一个所述扁平电极和所述样品被设定以满足一个关系; d\/L≥1A。5。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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