| 探针扫描控制方法和用于扫描探针显微镜探针扫描控制装置 |
| WOJP05015057 2005-8-18 发明申请 |
| 2006-2-23 |
| 一个扫描探针显微镜具有一个悬臂(21)具有一个探针(20)面对一样品(12)，一个测量部分(24)。用于测量所述探针和样品之间出现的一物理量，和移动机构(11，29)用于使扫描通过改变操作所述探针和样品之间的位置关系。所述测量部分测量该样品的表面，同时所述的移动机构进行所述扫描该表面通过所述探针。该方法包括一个发送的步骤，在一个恒定的间隔在一位置远离所述表面，所述该样品探针在该方向沿所述的表面，引起的一个步骤，在每个测量位置的确定通过所述恒定的间隔，所述探针靠近所述样品，进行测量以获得一测量值，和然后后退; 和一个设置一个测量点的步骤，当该测量值之间的差在一个测量点和一在所述下一个测量点测量值是大于一标准值，所述之间的一位置处的一个测量点和所述下一个测量点和进行测量。 |
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