| 用于扫描电子显微镜应用的传感器模块 |
| US18123850 2023-3-20 发明申请 |
| 2023-7-20 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜(SEM)系统。 SEM系统包括被配置为产生电子束的电子源和被配置为跨样品扫描电子束并将由样品散射的电子聚焦到一个或多个成像平面上的一组电子光学器件。 SEM系统包括定位在一个或多个成像平面处的第一检测器模块，其中第一检测器模块包括多像素固态传感器，该多像素固态传感器被配置为将来自样品的散射粒子例如电子和/或x射线转换成一组等效信号电荷。 所述多像素固态传感器连接到两个或更多个专用集成电路(ASIC)，所述专用集成电路被配置为处理来自所述传感器的一个或多个像素的所述一组信号电荷。 |
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