| 扫描电子显微镜和三-维图像显示方法使用该相同 |
| JP2004230090 2004-8-6 发明申请 |
| 2006-2-16 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜，允许一个所述不规则形状的图像令人满意的用于观察一个观察的对象的待正确地和准确地观察到三-定向，和以提供一个三-维图像显示方法。使用它。溶液 : 这三个三维图像显示方法，使用这种扫描电子显微镜装置，是由通过包括显示多个一显示装置上的三-维立体图像的重复，一种多次数的数量通过改变光束的角度倾斜，所述的SEM图像的轮廓数据中提取的过程从SEM图像数据以产生一个三-维图像; 制造一个三-维形状图案通过倾斜一束从SEM获取的图像数据; 提取所述三个三维形状和所述三-维形状图案，通过使用倾斜信息作为对应的信息; 合成所述三个三维立体图像，通过进行所述三个三维形状的纹理映射和所述三-维形状图案在所述对应关系; 和所述上显示所合成的三-维立体图像显示装置。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号