| 扫描探针显微镜和方法 |
| US11240312 2005-9-30 发明申请 |
| 2006-2-9 |
| 一种界面力显微镜，包括具有安装在振荡构件上的尖端的差动电容位移传感器。 传感器响应于构件的振动而产生位移信号。 扫描器邻近传感器并支撑要成像的样品。 所述扫描器可被致动以相对于传感器移动样品，以在所述构件摆动时使所述尖端与所述样品间歇接触。 控制器与传感器和扫描器通信。 控制器包括接收位移信号和AC设定点信号的传感器反馈电路。 AC设定点信号具有通常等于位移峰值处的频率对传感器频率曲线的频率。 传感器反馈电路的输出施加到传感器以振荡构件。 控制器还响应于位移信号向扫描器提供输出，以控制传感器和样品之间的分离距离。 |
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