扫描电子显微镜的二次电子检测器单元
 
US11248431  2005-10-13  发明申请

2006-2-9
 
  扫描电子显微镜的二次电子检测器单元安装在头体(1)中。 在头体(1)的下部设有下节流孔(2)。 在下节流孔(2)的上方, 微孔板(3)由垫圈(5)密封在头体(1)中,并利用框架板(6)紧固,框架板(6)具有开口,该开口暴露相对于扫描电子束(WE)的轴线非对称放置的有源输入区域(7)。 在微孔板(3)的上方,闪烁体(11)和光管(12)固定在头体(1)的侧面。
 
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