| 具有改进的散射光抑制的用于光学近场显微镜的探针及其制造方法 |
| US11193963 2005-7-29 发明申请 |
| 2006-2-9 |
| 本发明涉及一种用于光学近场显微镜的探针，所述探针包括承载探针尖端的平面载体，所述探针尖端至少部分地由透明材料构成。 本发明还涉及一种制造这种探针的方法。 本发明的目的是提供一种用于光学近场显微镜的探针及其制造方法，由此可以根据简单的技术以高再现性制造探针，并且可以具有简单但有效的光源。 根据本发明，所述目的是利用在所述导言中提到的类型的探针来解决的，使得所述载体包括光波导。 关于用于制造探针的方法，根据本发明，通过包括以下步骤的方法解决上述目的 : 在第一步骤中将包括光波导的涂层施加到衬底上； 在第二步骤中施加透明层，使得光波导布置在衬底和透明层之间； 在第三步骤中，在探针尖端上方的至少一个区域中掩蔽透明层； 在第四步骤中蚀刻透明层，形成探针尖端。 |
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