| 一基板检查装置，其指示的一晶片上的应力通过使用光学显微镜和拉曼光谱系统 |
| GB0515233 2005-7-25 发明申请 |
| 2006-2-8 |
| 一基板检查装置1(2a)包括 : 一样品台4被配置以通过一驱动部分是可移动的5; 和一个输送装置(2b，图。5)，用于输送一样品，例如一晶片3以该样品台3，其中它是测量。所述检查装置包括一个用于观察测量点P上的光学显微镜10所述样品3; 和拉曼光谱光学系统20用于照射一激光的光(L2)向所述测量点P，和关于该样品通过其检测器22输出信息。一计算机60分析所获得的信息和输出一应力在所述测量的测量点P。一种椭偏仪光学系统40可以包括以照射一个极化多个波长的光L3到所述测量点P和到输出有关的信息到该样品通过其自身的检测器44。多个的激光器(28a，28b，28c，28n，图10，13，或14)的不同的波长可被包括。在这种情况下，一个激光光的选择装置可以有选择地和自动开关所述的拉曼光谱中不同的激光器系统20。一个校准样品(72，图。10，13或14)可以被用于获得一种拉曼或椭偏仪的参考测量。 |
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