| 用于制造方法用于扫描电子显微镜样品 |
| KR1020040117684 2004-12-31 发明授权 |
| 2006-2-8 |
| 目的 : 一种方法制造的一种用于扫描电子显微镜样品是提供以确定准确的一层具有通过观察检测从三面方向检测。结构 : 一样品(300)包括一个分析点(200)是分离从一个通过执行一个第一晶片切割过程。一种第二附近的切割过程被执行以切割所述样品到所述分析所述分离的样品点到前和后方向上。一种研磨过程是一个侧进行研磨该样品的近到所述分析点。第二切割前和后表面铣出垂直地朝向所述分析通过使用FIB(聚焦离子束点)的装置。kipo2006 |
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