| 扫描探针显微镜和悬臂 |
| JP2004208737 2004-7-15 发明申请 |
| 2006-2-2 |
| 要解决的问题 : 以得到一种扫描探针显微镜能够防止所述的检测精度降低的基于所述激光束源的相对位置关系和所述反射部的一悬臂，和以提供所述悬臂。溶液 : 所述杆部68的悬臂50被形成，从而要继续从所述半导体层56的一个光发射部分52，其构成所述的光从一个方面的半导体激光源一种材料和结构，同时探头部分74和一个反射部分70被形成以被所述杆部68继续到所述的引导端从一个方面的一种材料和结构。通过这种结构，所述反射部70所述的相对位置关系和所述光发射部分52被不改变。因此，基于所检测的精度降低在所述反射部70所述的相对位置关系和所述光发射部分52可以被防止。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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