| 用于显微镜的焦点检测器 |
| JP2004205110 2004-7-12 发明申请 |
| 2006-2-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个聚焦检测器用于一个显微镜精确地检测一个聚焦位置，即使当一个峰值强度之间的关系时获得的形状的光量信号和一个相对位置是由一图形，是平坦的。溶液 : 基于一数据行示出该所述物镜的位置和所述强度之间关系的所述光量信号，一个位置对应的z0到所述最大强度的最大所述获得的光量信号为和被设置作为一参考位置。Z1和z-1分离从所述参考位置的位置由一个第一的距离D1和位置Z2和z-2通过一第二分离从所述参考位置的距离D2从所述第一不同的距离被设定。然后，该线La联的两个点对应的交叉点(K)到位置Z1和所述位置Z2和一个线Lb链接两个点对应到该位置z-1和所述位置z-2出的各个该数据行中的点被获得，和在该交点是决定该位置作为所述聚焦位置(Zf)。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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