| 低真空扫描电子显微镜 |
| JP2004206108 2004-7-13 发明申请 |
| 2006-2-2 |
| 要解决的问题 : 以实现一种高分辨率观察通过一个低加速度的电压5伏或更少而该试片的所述压力室保持高。溶液 : 检验部件的腔室1被制成为一个双结构和腔室10a内检验部件，用于保持低真空是提供所述外检验部件的腔室10b内的高真空。一个比较高的负电压，例如，-1至-9伏之前立即用于减缓电子所述测试片被应用于所述外件之间的腔室10b和所述内检验部件的腔室10a，和当所述入射电子光束7通过一物镜透镜9，薄的电子束保持高的能量与小像差被形成，和那些电子束所述测试件11之前立即被减速，从而获得高分辨率在低加速电压。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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