| 反射电子显微镜的图像形成和图案缺陷检查装置使用它 |
| JP2004208871 2004-7-15 发明申请 |
| 2006-2-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一反射图像形成的电子显微镜能够服务到两个镜的电子显微镜观察和低能量电子显微镜观察在所述相同的场的视图; 和以提供一缺陷检查装置能够检测图案的缺陷部上形成一样品与高分辨率和在高使用所述的反射电子显微镜的图像形成速度。溶液 : 该反射图像形成的电子显微镜包括一个照射透镜系统的电子束照射出从一个电子源1为该样品7作为一个片照射电子束301，一种图像形成透镜系统形成所述所述标本的图像通过投影和放大所述的反射电子束302的输出从所述样品7，和一个光束分离器4分离所述照射电子束301和所述的反射电子束302。所述光束分离器4由一个ExB的偏转器，其中一个电场和磁场被正交以及叠加。一控制装置28被提供用于控制所述将所述反射电子束偏转器302在所述文氏条件，其中通过一个电场和磁场的偏转效应被取消，每个其它的，与保持所述用于所述照射电子束的偏转角度大约恒定的301。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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