| 显微镜系统 |
| JP2004200353 2004-7-7 发明申请 |
| 2006-1-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一种压实的显微镜系统包括一个扫描探针显微镜和光学显微镜。溶液 : 所述的显微镜系统1被提供有一种原子力显微镜10和所述的光学显微镜20。一个电驱动的所述的光学显微镜20的变焦透镜筒23被设置，以延伸在一Z轴方向在样品的一个侧安装架30，和一个光轴转换反射镜被设置在所述电驱动的变焦镜头筒上的端部23。一透镜-所述的光学显微镜20的壳体部分21被附着到光学轴转换部分22，以及所述的光学轴转换部分22被连接到所述所述电驱动的变焦镜头筒上的端部23。CCD相机(电荷耦合装置相机)24被设置在所述电驱动的下端部变焦透镜筒23。所反射的光从一个样品M是由一反射镜反射，然后被反射通过该光学光轴转换反射镜所述的光学轴转换部分22通过一透镜的所述透镜的外壳部分21。通过所述光轴转换反射的光密勒是所述CCD照相机24中取出通过所述电驱动变焦透镜筒23。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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