| 与聚焦显微镜检测装置 |
| JP2004203109 2004-7-9 发明申请 |
| 2006-1-26 |
| 要解决的问题 : 稳定地确定一个聚焦状态或调整焦点，不管所述的状态的该样品的表面。溶液 : 所述显微镜包括 : 一种观察光学系统2用于样品的观察该图像面4a，形成由一物镜透镜6; 和一照明光学系统3用于一个索引12所述的图像投影到所述试样表面和使所述样品表面上的垂直照明。一分离棱镜8被设置在该位置，其中由所述物镜透镜6成像发生。使用该物镜透镜6，反射的光从所述样品表面4a和索引12是成像到所述分离棱镜8。所述图像是与所观察到的目镜透镜7和聚焦检测。在一个聚焦状态，所述的图像索引12是一个成像位置上形成在所述分裂棱镜8。在一个离焦状态，该索引12是横向偏离所述的图像在一楔方向相对于一分离线的楔形棱镜8a和8b。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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