| 原子力显微镜用倾斜载物台 |
| KR1020230063855 2023-5-17 发明申请 |
| 2023-5-26 |
| 本发明涉及一种能够调节倾斜的AFM载物台和使用该载物台的台阶测量方法，用于最小化压电Z扫描器的位移，从而能够测量小于nm的厚度和粗糙度特性。 采用使本发明的压电式Z扫描器的位移最小化的倾斜载物台的原子力显微镜能够在现有技术中扫描10微米时将根据高度变化的角度从平均2.27度减小到0.15度，从而能够提高测量精度，并且由于在步进测量期间压电式Z扫描器的弯曲引起的失真消失，因此能够执行小于nm的步进测量。 所述用于原子力显微镜的倾斜载物台包括上平板样品架； 下板固定部； 铰链部； 以及分离部。 |
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