| 用于测量光相位nearfield扫描光学显微镜 |
| KR1020040024445 2004-4-9 发明授权 |
| 2006-1-26 |
| 被扫描近场光学显微镜用于测量光的相位被公开。公开内容被用于相位测量的光所扫描近场光学显微镜，所述物质上以被光源，所述的光从反射第一阶光束源通过将所获得的发射光，所述的从所述的光照射后源通过所述所述物质以被一光学探针所述光反射层，所述物质以被所述的光学检测器检测所发出的光所述像素阵列，其特征在于，包括一。通过所述，本发明中具有所述物质是一种反射光学探头和所述光反射所反射的光反射从所述光学探头上，获得和使相干光，所述干扰检测所述的光的光的相位内的结构和所述物质可以。 |
微信公众号