| 衬底结构的方法用于表征一个半导体衬底上形成一规则的结构使用一种扫描电子显微镜 |
| DE102004030122 2004-6-22 发明申请 |
| 2006-1-19 |
| 用于表征一结构的训练一个载体衬底上的所述规则的结构的一个结构部件与一个电磁的辐射在下一第一操作模式与一高分辨率取所反射的辐射通过所述载体衬底被扫描，顺序中，以接收一收集所述结构部件的主测量签名，进一步所述结构被扫描的规则沿着若干结构中包含的扫描距离与所述电磁的辐射部件A一第二操作模式与一低溶解载体基板所反射的辐射通过所述的照片下，为了接收测量签名用于多个所述结构部件沿所述扫描的距离。所述用于该单个结构部件各自的测量签名沿着所述扫描距离被然后，覆盖所述结构部件与所述收集的主测量签名，为了判断从所述重叠的精度所述各自的测量结构与所述收集的主测量结构形式，其所分配各自的测量签名之间的差异结构部件和使所述收集主分配结构部件测量的签名。 |
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