| 电子束调整方法，带电粒子光学系统的控制装置和扫描电子显微镜 |
| JP2005193288 2005-7-1 发明申请 |
| 2006-1-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种带电粒子束辐照的方法和一种带电粒子束的装置适用于减少聚焦偏移，放大波动，测量所述带电粒子光束中的长度误差引起的装置通过一个样品上的充电。溶液 : 为了达到上述目的，本发明提供一种所述样品上的电位分布测量所述的方法由所述样品上的静电电位计用于测量所述电位，同时所述样品中携带在通过一个进位机构一种带电粒子的光束通过。本发明还提供了一种在一指定的点测量的本地计费方法在所述样品和隔离和测量该宽区域从那些局部静电电荷的静电电荷量。进一步本发明提供了一种测量长度值校正所述的方法或基于发现波动放大倍数由所述指定的点处测量所述的静电电荷的量至少两个带电粒子光学条件下。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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