| 用于测量晶片的电特性的方法使用一种原子力micorscope原子的一尖端和用于制造方法力显微镜 |
| KR1020040055270 2004-7-15 发明申请 |
| 2006-1-19 |
| 目的 : 一种用于测量一电特性的方法使用一种原子力显微镜是提供一晶片，以精确地测量真实的驱动特性通过制作一个接触与真实图案中的探针接触。结构 : 一导电探针(100a)B是由一悬臂支持(100A)。一种晶片(w)是支持通过一个扫描器(110)。该扫描仪可以通过一个较小的单元进行精细操作比所述晶片的所述精细图案，以传送一晶片图案所述探头到被测到一个下部分。该晶片被定位在所述的扫描器，和一种原子力显微镜是包括一真空室中。电流或电压被施加到所述探针和所述晶片被接地。所述晶片的所述的电气信号是通过使用原子之间的排斥力测量。所测得的电信号是成像以测量所述晶片的所述的电特性。kipo2006 |
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