| 用扫描电子显微镜成像的方法以及执行该程序的扫描电子显微镜 |
| DE102021212978 2021-11-18 发明申请 |
| 2023-5-25 |
| 在利用扫描电子显微镜成像的情况下，首先在扫描电子显微镜(SEM)的真空室中进行待成像样品的定位(27)，使得SEM的像场位于待成像样品的截面上。 这之后将(29)水添加到真空室中，使得水在样品上的图像场的区域中沉淀为H2O层。 然后将真空室中的样品冷却(30)至低于-10℃的温度。 这之后是在图像场所位于的净化场内使用至少一次电子净化扫描进行样品净化(32)。 在清洁扫描期间，H2OLayer被去除。 然后，在完成至少一次清洁扫描(35)之后，使用电成像扫描对视场(34)成像。 结果是一种成像方法，其中当在待成像的样品上成像像场时，干净的样品表面以高度确定性存在。 |
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