| 元件映射单元，扫描透射电子显微镜和元件映射方法 |
| US11232964 2005-9-23 发明申请 |
| 2006-1-19 |
| 本发明提供一种元件映射单元，扫描透射电子显微镜和元件映射方法，其能够非常容易地获得元件映射图像。 在扫描透射电子显微镜上，透射通过待分析物的电子束进入元件映射单元。 利用电子光谱仪将电子束的能量分析成光谱，并获得电子能量损失谱。 由于每个元素的加速度电压数据和2-窗口法，3-窗口法或对比度调谐法的窗口数据都已经存储在数据库中，因此即使当要分析的元素改变为另一个元素时，也可以立即进行光谱测量，操作者可以立即确定二维元素分布图。 另外，由于进入能量滤波器的每一电子束都通过物点，因此可以使电子光谱仪中的像差应变最小化，并且可以获得更高的能量稳定性。 因此，通过将电子束分析成光谱而获得的电子能量损失光谱的漂移可以被最小化，并且可以获得具有更高精度的元素分布。 |
微信公众号