| 光扫描电子显微镜及其应用 |
| US10967638 2004-10-19 发明申请 |
| 2006-1-19 |
| 在具有照明结构(2)的共焦激光扫描显微镜中， 提供用于照明探针区域(23)的照明光束， 利用扫描配置(3)， 4)， 在扫描的同时将照明光束引导到探头上， 并且具有检测器结构(5)， 它通过扫描结构(3)， 4)借助于至少一个检测器单元(28)上的共焦孔径(26)使被照明的探针区域(23)成像， 提供了扫描结构(3)的照明结构(2)， 4)提供线状照明光束， 扫描结构(3，4)在扫描的同时将线状照明光束引导到探针F上，并且共焦孔径被设计为狭缝孔径(26)或作为共焦孔径的检测器单元(28)的狭缝区域(28，48)。 |
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