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利用具有线性扫描的光扫描电子显微镜从探针获取图像的方法
US10967333 2004-10-19 发明申请
2006-1-19
从具有线性扫描的光扫描电子显微镜的探针获取图像的方法, 其中检测对应于三维探针区域的检测到的图像数据并将其存储到存储器中,其中数据压缩是在压缩期间考虑到位于探针上的彼此相邻和彼此重叠的图像的数据。 有利地记录图像堆叠,并且分别在图像堆叠中相邻的图像被查阅以压缩数据。 时间上和/或光谱上检测和存储的数据将被参考以压缩数据。
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