| 与线性扫描光扫描显微镜 |
| EP05012840 2005-6-15 发明申请 |
| 2006-1-18 |
| 第一光源((zl)LQ1)通过光通过一个圆柱形透镜和一个消色差(st)的光分束器。光可以进入直-上通过可动透镜(L1，L2)的一扫描器(So1)和穿过固定透镜(TL，O)及一狭缝光瞳(P)该样品。反射的光可以通到一个线路扫描器(linienscanner)与一个线检测器和多个狭缝孔径(DE1)。一分束器(ft1)中将一些所述的光以一个扫描器(SC1)与一点检测器和一个多点孔径(de2)。有一第二光源(LQ2)用于该点扫描器。 |
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