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与线状照明光扫描显微镜和所述显微镜的使用
EP05012841 2005-6-15 发明申请
2006-1-18
所述光源模块(2)具有一个单激光(A)和组(6)的三个激光器(B,C,D)。该组三个激光器的具有一束组合系统,一个快门(8)和一个衰减器(9)。所述激光器馈入光通过两个光纤到一扫描模块(3)与一个光束合路器(14,15)。本发明是一种半反射镜(17)和一个扫描器(18)用于所述共焦光学系统。从所述物体反射的光或样品(23)穿过所述半反射镜到一个光点检测器系统(5)。
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