光学扫描显微镜装置
 
EP05014665  2005-7-6  发明申请

2006-1-18
 
  实现紧凑的设计是以最小化的阻塞该领域的一种体视显微镜装置的视图。此外,象散被减小,以产生一个高-质量的图像。一个光学扫描显微镜装置包括一光源(12),一个光-发射元件(17)用于传输从所述的光的光源极,一个装置主体(11)用于照明一个对象与所述光发送通过所述光-发射元件,和一个光检测器(13)用于检测从所述对象的返回光返回通过所述装置主体和所述光-发射元件。所述装置主体包括一个准直光学系统(36),用于发送通过所述光转换所述光-发射元件成准直光,一扫描镜(30)用于偏转从所述准直光学系统射出的所述准直光在一个偏转角度小于90a°,以扫描该光在所述对象,一个聚焦光学系统(21)用于聚焦该通过所述扫描镜反射到所述对象扫描的光,和一种光瞳投影光学系统(48)之间设置所述聚焦光学描述的系统和上述的扫描镜。
 
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