| 显微照明调整方法和显微镜 |
| JP2004183503 2004-6-22 发明申请 |
| 2006-1-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一个显微照明调整方法和一种显微镜能够减少不均匀的照明在一个实际的显微镜。溶液 : 关于所述显微镜1，其中一个光源图像被投影到一开孔26的一个位置通过一聚光透镜22，然后，所述光源图像被投影为一个二次光源到所述光瞳一个物镜的透镜11，和然后，样品表面被照亮，所述光源图像被聚焦在所述样品的表面移所述聚光透镜22在一个光学方向(聚焦过程)，该光源21被移动。以一位置，其中所述量的光照射所述样品表面成为最大(光源位置调节过程); 所述量的光照射所述样品表面上的多个测量的区域是通过测量一个二维图像拾取传感器13(光量测量装置)，然后，该聚光透镜22被移动到一位置，其中一个差所述量之间的各测量区域的光照射可以在一个所述光学轴线上的参考程度(不均匀照明抑制过程)。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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