| 扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置 |
| CN200320100222.8 2003-10-10 实用新型 |
| 2006-1-11 |
| 本实用新型涉及的扫描电子显微镜使用的探针 原位电学特性测量装置，包括一个或多个原位电学特性分测量 器、电子源、电学性质测试仪器和内装加热器的样品台；所述 多个原位电学特性分测器以样品台为中心环绕样品台均匀分 布，其结构分别为：一钨探针固定在金属测量杆的一端，金属 测量杆另一端套装绝缘套并与三维调节杆相连，一测量导线一 端与金属测量杆相连，另一端套装导线绝缘套并穿过真空室与 电学性质测试仪器电连接；电子源位于样品台的正上方，之间 设置有电磁透镜；可实现对扫描电镜所观察到的微区范围进行 直接的电学性质的多功能测试，具有性能可靠，接触良好的、 安装简便、结构简单和使用安全的特点，拓展了扫描电镜的功 能。 |
微信公众号