| 设备和方法用于自动聚焦的光由共焦显微镜原理 |
| KR1020040051788 2004-7-3 发明申请 |
| 2006-1-9 |
| 目的 : 一种用于自动聚焦装置和方法使用共焦光学显微镜原理被提供到使所述整个系统使用一种光源通过简单调制技术具有提高了一种焦点控制的速度和最小化一个通过去除不必要的物理效果到该系统扫描过程。结构 : 一种用于自动聚焦装置使用光学显微镜一共焦原理包括一个共焦系统(124)，一光源调制装置，和一个信号处理单元，所述共焦系统(124)使用一光纤。所述光源的调制装置调制的光学轴方向的一光纤套管(117)。所述信号处理单元产生一控制信号从一种通过检测焦点误差信号光从一个测量物体表面反射的。所述装置获取的信号通过所述共焦系统(124)与移动所述测量对象，和，所述装置获取所述焦点通过所述获取的信号获取所述衍生物的结果。kipo2006 |
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