| 扫描电子束显微镜控制系统 |
| KR1020040047349 2004-6-24 发明申请 |
| 2005-12-29 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜控制系统被提供到自动选择一对应的配方，以测试目标对象和以准确地测试所对应的测试目标对象。结构 : 一种扫描电子显微镜控制系统(100)由一个存储器部分(120)，用于存储配方(R)，其中根据测试目标对象被不同地设置测试项，一个管理器部分(130)。自动选择所述的配方对应的所述测试目标对象加载在扫描电子显微镜(152)和提供所述配方以所述扫描电子显微镜，和一个标记传感器用于传感所述测试目标上形成一个识别标记物体上，该管理器部分包括一个处理单元(132)通过接收关于所述的信息识别所述测试目标对象识别从所述标记的标记传感器，选择该配方对应的所述测试目标对象识别，和提供所选择的配方以所述扫描电子显微镜，kipo2006 |
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