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扫描电子显微镜和CD测量校准标准样品

US11165223 2005-6-24 发明申请

2005-12-29

本发明提供一种校准标准样品，该校准标准样品中形成有不连续排列的点阵形状的校准图案，以及分别设置在校准图案附近的特定对准图案，使得可以使样品的定位与校准图案与测量点匹配。