| 扫描透射电子显微镜和电子能量损失谱 |
| US11157817 2005-6-22 发明申请 |
| 2005-12-29 |
| 本发明提供一种扫描透射电子显微镜，其能够独立于散射电子检测器的接受角范围来设置能量损失光谱仪的接受角范围，并且使得不需要相对于散射电子检测器的接受角范围的变化来改变能量损失光谱仪的条件。 在配备有能量损失光谱仪的扫描透射电子显微镜中，用于检测电子的散射电子检测器上方设置有用于设置由样品散射的电子的接受角的第一旋转对称型磁性透镜，第二旋转对称型磁性透镜设置在散射电子检测器和能量损失光谱仪之间，第一旋转对称型磁性透镜设置散射电子的接受角，第二旋转对称型磁性透镜设置能量损失光谱仪的物点。 |
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