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前翼用于所述导电探针的电扫描探针显微镜的悬臂
EP05012741 2005-6-14 发明申请
2005-12-28
本发明公开了一种用于所述导电探针的前翼悬臂电扫描探针显微镜,其中两个对称的前翼被安装到所述前端从两个横向侧延伸的所述悬臂的,使得这些两个前翼被位于两个横向侧面上的所述导电的尖端。所述悬臂的所述的前翼结构可以有效抑制所述的光学所述的电扫描探针显微镜中的扰动和其明显促进所述分析精度。所述的前翼结构可提供所扫描的区域与一个有效暗场光学吸收以防出现在所述半导体样品的扫描区域和所述测量和分析期间抑制所述的光发生扰动的所述差分电容。
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