用于测量所述偏转量的装置和所述扫描之前][kantilevera的功率显微镜匝
 
RU2005115303  2005-5-19  实用新型

2005-12-27
 
  是有用的所述的[otnosits]到所述力学模型,在特定到该显微镜的制造可以使用的[DL][izmereni]的浮雕和所述表面的特性与借助于该扫描功率的显微镜检查对象。所述的香精所述的有用的模型[zaklyuchaets]所述的事实所提出的装置包括光检测器之前,单元的前置放大器,块的处理信号和加法器-减法器的块。所述处理信号的块包括的微调电阻。所述处理信号的所述块连接的入口通过所述单元的下前置放大器的所述入口光检测器,并输出到所述块的加法-减法器。是有用的模型,它允许用于该附加的放大器的旁边[vvedeni的可能性]所述块的处理信号; [pozvol]的[ET]在所述弱输入信号的情况下,所述[shchikh]的结果从所述光电检测器,以产生它们的附加的增强和到,因此,增加该显微镜的分辨率。该技术zaklyuchaets的[结果]一种噪声减小之前所述有用信号之前是超过50次和一种之前在所述显微镜的分辨率增加一个学习所述表面的浮雕在所述的点的所述相同的值。作为一个结果调整所述的噪声的电平[snizhaets]到0,01-0,05%。
 
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