| 纳米-图案化方法基于使用原子力显微镜上的电压编程 |
| KR1020040045942 2004-6-21 发明申请 |
| 2005-12-26 |
| 目的 : 一种纳米-图案化方法使用一种基于原子力显微镜上的电压编程被提供给形成两个或两个三-维复数纳米图案精确地施加电压的持续时间的时间信号到所述原子力显微镜具有一个电位器在不修改所述原子力显微镜，构成 : 一两个或三-待传送的被分割成的三维物体的像素和扫描以决定应用电压根据每个像素，和应用根据像素单元电压决定的数据被转换在一种应用电压信号对应的时间。图像是通过施加电压的图案通过一个时间函数编程实现以一种原子力显微镜通过一电位器。压花图案通过阳极氧化被转换成雕刻的图案，和清晰显示通过用磷酸刻蚀酸或氟酸。所述两个或三-维对象被分割成1024，4096，16384或65536像素和扫描。在相对所述图像显示的是与一探针座30至90%的湿度。kipo2006 |
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