| 扫描电子显微镜 |
| JP2005263171 2005-9-12 发明申请 |
| 2005-12-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一种具有改进的所述的产率低的成本电极结构的电流吸收，其中可操作性在该配置中的一个图像观察的仪器也提高。溶液 : 一简化的电极结构中，一个二次电子收集器电极，用于观察中使用一个二次电子探测器在一种高真空条件是还用于在一低真空条件。在所述电极结构的产量提高电流吸收，一环电极相邻放置到一个样品被设置固定到一个微动台。所述的可操作性的所述的改进是通过提供一种功能，以执行自动设定一个施加的电压值和一个样品室真空度，以使所述电流吸收到成为最大产量的收率。 |
微信公众号