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原子力显微镜及其校正器和测量方法
US11141087 2005-5-31 发明申请
2005-12-22
一种原子力显微镜包括尖端(12)。 所述尖端被移动以确定物体的表面间隔(44)的高度,其中所述表面间隔以高于水平面的角度基本倾斜并且限定点(42a)。 原子力显微镜包括光源(31)和分析器(33)。 光源将多个光束施加到表面间隔的点上,并且所施加的光束被表面间隔反射。 分析器分析反射光束以确定水平面上方的角度。
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